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氦質譜檢漏儀 GGH-11
日期:2021-08-24 瀏覽:1790
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型號:GGH-11

說明:GGH-11氦質譜檢漏儀最小可檢漏率:1×10-11Pa?m3/s,漏率顯示范圍: 1×10-4~1×10-11Pa?m3/s ...


GGH-11型氦質譜檢漏儀指標


一、檢漏儀技術參數

1.最小可檢漏率:1×10-11Pa·m3/s

2.漏率顯示范圍: 1×10-4~1×10-11Pa·m3/s 

3.啟動時間: ≤5min

4.響應時間:≤1S 

5.檢漏口最高壓力: 1000Pa 

6.檢漏口對氦抽速: 1.5l/s

7.重量:75kg

8.工作環境: 溫度:12 oC至40 oC, 相對濕度≤80%


二、檢漏儀所配置的分子泵的技術參數


抽速L/S50L/S
抽氣時間(14L容積)80 sec (100 mbar);110 sec (1 mbar);
155 sec (1e-4 mbar); 400sec (1e-5 mbar)
壓縮比N2/He/H25×108/8×104/7×103
渦輪泵轉速36.000 RPM
啟動時間<60S
安裝位置任意
運行溫度5°C – 50°C
推薦前級泵DS42   DS302
入口法蘭直徑KF40
前級法蘭直徑KF16
重量16.7Kg


三、檢漏儀所配置的機械泵的技術參數


抽氣量50HZ:4L/S
抽速50HZ:3L/S
極限分壓強10-4mbar
極限總壓強2×10-3mbar
帶氣振閥的極限總壓強1×10-3mbar
水蒸氣壓強30mbar
水蒸氣容量350g/h
油體積 最小/最大0.25/0.6
發動機功率0.75kw
轉速 50HZ rpm1500
重量25Kg
進氣口法蘭25KF DN
排氣口法蘭25KF DN


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