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單模腔型微波等離子體系統
日期:2021-08-25 瀏覽:1536
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型號:單模腔型微波等離子體系統

說明:微波等離子


GMPS-2010C 1kW / 2450MHz單模腔型微波等離子體系統

 

技術特點

 

● 系統采用GMG-2010C,1kW/2450MHz高穩定程控微波功率源。運用完善的線路安全閉鎖控制系統,使該系統工作壽命長,電氣性能優良,安全可靠,操作簡單方便。

● 微波傳輸系統由高性能微波環行器,銷釘調配器,帶反射波取樣的水負載以及外部連接波導組成。它確保反射波對磁控管的良好隔離,并能方便地調節最佳匹配,達到微波功率的最佳傳輸。

● 系統采用帶短路活塞的圓柱型單模腔。調節短路活塞可在很寬的運行范圍內實現諧振把微波功率耦合給負載。為確保大功率下穩定工作, 腔壁采用水冷。單模腔兩個側面開有直徑8mm的觀測孔,可供安放測溫傳感器等用途。

● 系統主要用途: 1). 微波等離子體實驗裝置;2). 微波高溫陶瓷燒結或焊接。3). 微波化學合成,萃取和消解等。

 

技術參數

工作頻率:           2450±50MHz

輸出功率:           0.1 ~ 1kW  連續可調

功率穩定度:         優于±1%(在額定功率電平)

輸出波導接口:       BJ-26 帶FD-26標準法蘭

輸入電源:           380V/50Hz±5%  三相四線

冷卻水流量:         3L/min

系統駐波系數:       VSWR ≤ 1.5

反應腔最大直徑:     Ф45mm


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