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1kW微波等離子體火炬
日期:2021-08-25 瀏覽:1732
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型號:1kW微波等離子體火炬

說明:微波等離子


GMPT-209 1kW微波等離子體火炬

 

一、技術特點及用途


● 系統將微波源,微波傳輸系統,等離子體火炬腔及控制系統等各部分有機地組合成的一套完整的設備,它具有性能先進、功能完善、結構合理,使用方便。

●  HMPT-209 微波等離子體火炬是實驗室用AES 和化學處理研究的理想工具。其廣泛用于SiO2、金剛石膜等材料的快速CVD合成;多種金屬材料的表面改性處理;花崗巖片的表面精細加工;超微細粉的制備;材料的精細焊接和切割等等。

● 火焰溫度高,形狀易控制,極高的等離子體密度,在與被處理材料產生有利的化學作用后,能快速沉積SiO2,金剛石膜等多種材料

●  適應于多種氣體,工作穩定,操作方便。

 

二、技術參數

 

技術參數

 工作頻率

2450±50MHz

 輸出功率

0.1-1kW連續可調

 功率穩定度

(在額定功率電平) 優于±1%

 輸出波導接口

功率頭外置帶FD-26標準法蘭

 輸入電源

(1和2可選擇配置)

1)380V±10% 50Hz,三相四線,3kVA

2)220V±10% 50Hz,單相,2kVA(開關電源)

 冷卻水流量

3 L/min

 系統駐波系數

VSWR ≤ 1.5

 微波泄漏

符合國際標準

 工作氣壓范圍:        

100 Torr 至大氣壓    

 氣 體

2路氣體(適合于多種氣體)


系統包括:

1、1kW程控微波源、功率頭;(也可配1kW開關電源)

2、波導傳輸系統:BJ-26環行器、BJ-26水負載、BJ-26電動銷釘、BJ-26短路活塞、BJ-26火炬腔;


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